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真空蒸着装置 CMEシリーズ
電子備品や研究開発に対応した蒸着成膜装置

  • 特長
  • 仕様
  • 用途

特長

  • 円筒形前扉式で操作性に優れ高品質、高信頼の薄膜が得られる
  • 単層、複数膜が可能
  • チャンバサイズがΦ700mmまで
  • ウェハーサイズの対応が可能
  • 低コストと高生産性で省スペース

仕様例 CME-70

装置構成
バッチ式 基板回転方式
基板ドーム
MAXΦ600 Φ4 ウエハー対応
蒸発源
電子銃方式 ルツボ4点or6点
操作
全自動（排気・成膜）

用途

  • 電子部品
  • 水晶デバイス
  • SAW/FBAW
  • 薄膜センサー
  • その他

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弊社はご要望に合わせた真空装置のカスタマイズ対応が可能ですのでお問い合わせ下さい。

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