有機EL：量産用装置有機ELディスプレイ量産装置 System-ELVESS第6世代ハーフ基板サイズに対応した量産製造装置
- 概要
- 仕様
基本情報
装置名：System-ELVESS
特長
大量生産向けに開発された装置です。有機材料と陰極金属材料の蒸着成膜技術や、精密ロボット技術による全自動封止技術、フルカラーの画素製作に欠かせない高精度アライメント技術など、当社創業以来の技術を融合し、世界トップシェアを握る全自動量産システムです。
仕様例
- ガラス基板
- 第6世代ハーフ基板サイズ
TFTパターニングガラス基板
- 排気
- 10－5Pa台
- 成膜
- 有機材料：ヒーター加熱ポイントソース蒸発源 膜分布±5％
金属材料：ヒーター加熱ポイントソース蒸発源 膜分布±7％
- 制御
- 搬送、排気、成膜、封止の諸条件は、コンピュータとシーケンサの設定で自動運転
- マスクアライメント
- ガラス基板とメタルマスクの位置合わせは、±3μｍにアライメント