有機EL：試作実験用装置有機ELディスプレイ試作実験装置 Try-ELVESS材料開発、プロセス開発の評価用製造装置
- 概要
- 仕様
基本情報
装置名：Try-ELVESS
特長
有機ELの研究開発や材料開発に最適な装置です。O2プラズマ洗浄室、有機発光層蒸着室、金属電極蒸着室、封止室等をコンパクトに一体化。蒸着成膜から封止まで、大気に触れることなく高品位な有機ELデバイスが試作できます。有機ELデバイスの基礎開発を効率よく行えます。
仕様例
- ガラス基板
- 100×100mm、成膜有効範囲 82×90mm
- プラズマ洗浄室
- RFプラズマ電源 O2マスフローコントローラー
- 蒸着 1室
- 低温セル蒸発源8式 ピンによるマスク位置決め機構±0.1mm
- 蒸着 2室
- 抵抗加熱蒸発源4式 ピンによるマスク位置決め機構±0.1mm
- 受け渡し室
- 基板受け渡し機構 N2置換機構
- 封止室
- 手動貼り合わせ機構 UVランプユニット N2脱水循環機構
- パスボックス
- 排気：全自動 蒸着：半自動操作 封止：半自動操作
- 制御系
- 排気：全自動 蒸着：半自動操作 封止：手動操作 水晶式蒸着コントロールによる膜厚制御
- オプション
- 電子銃蒸発源 高温セル 酸素濃度計 ドライポンプ