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有機EL:試作実験用装置
有機ELディスプレイ試作実験装置 Try-ELVESS
材料開発、プロセス開発の評価用製造装置

  • 概要
  • 仕様

基本情報

装置名:Try-ELVESS

特長

有機ELの研究開発や材料開発に最適な装置です。O2プラズマ洗浄室、有機発光層蒸着室、金属電極蒸着室、封止室等をコンパクトに一体化。蒸着成膜から封止まで、大気に触れることなく高品位な有機ELデバイスが試作できます。有機ELデバイスの基礎開発を効率よく行えます。

仕様例

ガラス基板
100×100mm、成膜有効範囲 82×90mm
プラズマ洗浄室
RFプラズマ電源 O2マスフローコントローラー
蒸着 1室
低温セル蒸発源8式 ピンによるマスク位置決め機構±0.1mm
蒸着 2室
抵抗加熱蒸発源4式 ピンによるマスク位置決め機構±0.1mm
受け渡し室
基板受け渡し機構 N2置換機構
封止室
手動貼り合わせ機構 UVランプユニット N2脱水循環機構
パスボックス
排気:全自動 蒸着:半自動操作 封止:半自動操作
制御系
排気:全自動 蒸着:半自動操作 封止:手動操作 水晶式蒸着コントロールによる膜厚制御
オプション
電子銃蒸発源 高温セル 酸素濃度計 ドライポンプ