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有機ELディスプレイ試作実験装置 Try-ELVESS
材料開発、プロセス開発の評価用製造装置

  • 特長
  • 仕様
  • 用途

特長

  • 有機ELの研究開発や材料開発に最適な装置
  • O2プラズマ洗浄室、有機発光層蒸着室、金属電極蒸着室、封止室等をコンパクトに一体化。蒸着成膜から封止まで、大気に触れることなく高品位な有機ELデバイスの試作が可能
  • 有機ELデバイスの基礎開発を効率よく行うことが可能

仕様例

ガラス基板
100×100mm、成膜有効範囲 82×90mm
プラズマ洗浄室
RFプラズマ電源 O2マスフローコントローラー
蒸着 1室
低温セル蒸発源8式 ピンによるマスク位置決め機構±0.1mm
蒸着 2室
抵抗加熱蒸発源4式 ピンによるマスク位置決め機構±0.1mm
受け渡し室
基板受け渡し機構 N2置換機構
封止室
手動貼り合わせ機構 UVランプユニット N2脱水循環機構
パスボックス
排気：全自動 蒸着：半自動操作 封止：半自動操作
制御系
排気：全自動 蒸着：半自動操作 封止：手動操作 水晶式蒸着コントロールによる膜厚制御
オプション
電子銃蒸発源 高温セル 酸素濃度計 ドライポンプ

用途

  • 有機ELディスプレイパネル
  • 有機太陽電池
  • 有機半導体

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弊社はご要望に合わせた真空装置のカスタマイズ対応が可能ですのでお問い合わせ下さい。

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