このページでは、現在主流となっている真空蒸着方式の量産製造工程をご紹介します。
上の図は、フレキシブル有機ELパネルを真空蒸着方式で製作する工程の一例です。
量産製造工程は、主にTFT回路をつくる「前工程」と、主に有機材料を成膜する「蒸着工程」、そして封止、切断、配線接続などの「後工程」の3つの工程に分かれています。
「蒸着工程」でガラス基板に発光層を付着させますが、高精細かつ高品質のパネルを製作するためには、様々な技術が必要となります。主な技術として、①内部が非常にクリーンで高真空な環境の真空容器を製作する技術、②ガラス基板を高速・高精度で搬送するFA（ファクトリーオートメーション）技術、③発光層がガラス基板に付着する位置を高精度で制御する成膜・アライメント技術などが挙げられます。これらの全てにおいて、当社には長年の装置開発による技術ノウハウの蓄積があります。そして、パネル量産装置を安定して提供してきた豊富な実績も有しています。