有機EL：小中量生産用装置有機ELディスプレイ小中量生産装置 Small-ELVESS小中規模生産向け製造装置
- 概要
- 仕様
基本情報
装置名：Small-ELVESS
特長
有機ELディスプレイの基礎的な研究開発や少量生産に最適な装置です。O2プラズマ洗浄から成膜・封止まで、すべての工程を一台で処理するため、大気に触れることなく高性能な有機ELデバイスが製作できます。また、再現性の高い研究試作により、量産移行までのパネル開発が効率よく行えます。
仕様例
- ガラス基板
- 200×200mm、成膜有効範囲 160×160mm
- ロードロック室
- 基板1枚 マスク2枚の3段昇降機構
- プラズマ洗浄室
- RFプラズマ電源 O2マスフローコントローラー
- 蒸着 1室
- 低温セル蒸発源8式 アライメント機構±5μm
- 蒸着 2室
- 抵抗加熱蒸発源4式 アライメント機構±5μm
- 受け渡し室
- ガラス基板受け渡し機構 N2置換
- 封止室
- 半自動貼り合わせ機構 UVランプユニット N2脱水循環機構 N2置換機構
- パスボックス
- 排気：全自動 蒸着：半自動操作 封止：半自動操作
- 制御系
- 基板搬送：半自動操作 水晶式蒸着コントロールによる膜厚制御
- オプション
- 蒸着室・スパッタ室追加 電子銃蒸発源 高温セル 酸素濃度計 ドライポンプ