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有機EL:小中量生産用装置
有機ELディスプレイ小中量生産装置 Small-ELVESS
小中規模生産向け製造装置

  • 概要
  • 仕様

基本情報

装置名:Small-ELVESS

特長

有機ELディスプレイの基礎的な研究開発や少量生産に最適な装置です。O2プラズマ洗浄から成膜・封止まで、すべての工程を一台で処理するため、大気に触れることなく高性能な有機ELデバイスが製作できます。また、再現性の高い研究試作により、量産移行までのパネル開発が効率よく行えます。

仕様例

ガラス基板
200×200mm、成膜有効範囲 160×160mm
ロードロック室
基板1枚 マスク2枚の3段昇降機構
プラズマ洗浄室
RFプラズマ電源 O2マスフローコントローラー
蒸着 1室
低温セル蒸発源8式 アライメント機構±5μm
蒸着 2室
抵抗加熱蒸発源4式 アライメント機構±5μm
受け渡し室
ガラス基板受け渡し機構 N2置換
封止室
半自動貼り合わせ機構 UVランプユニット N2脱水循環機構 N2置換機構
パスボックス
排気:全自動 蒸着:半自動操作 封止:半自動操作
制御系
基板搬送:半自動操作 水晶式蒸着コントロールによる膜厚制御
オプション
蒸着室・スパッタ室追加 電子銃蒸発源 高温セル 酸素濃度計 ドライポンプ