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有機ELディスプレイ小中量生産装置 Small-ELVESS
小中規模生産向け製造装置

  • 特長
  • 仕様
  • 用途

特長

  • 有機ELディスプレイの基礎的な研究開発や少量生産に最適な装置
  • O2プラズマ洗浄から成膜・封止まで、すべての工程を一台で処理することで、大気に触れることなく高性能な有機ELデバイスの製作が可能
  • 再現性の高い研究試作により、量産移行までのパネル開発を効率よく行うことが可能

仕様例

ガラス基板
200×200mm、成膜有効範囲 160×160mm
ロードロック室
基板1枚 マスク2枚の3段昇降機構
プラズマ洗浄室
RFプラズマ電源 O2マスフローコントローラー
蒸着 1室
低温セル蒸発源8式 アライメント機構±5μm
蒸着 2室
抵抗加熱蒸発源4式 アライメント機構±5μm
受け渡し室
ガラス基板受け渡し機構 N2置換
封止室
半自動貼り合わせ機構 UVランプユニット N2脱水循環機構 N2置換機構
パスボックス
排気：全自動 蒸着：半自動操作 封止：半自動操作
制御系
基板搬送：半自動操作 水晶式蒸着コントロールによる膜厚制御
オプション
蒸着室・スパッタ室追加 電子銃蒸発源 高温セル 酸素濃度計 ドライポンプ

用途

  • 有機ELディスプレイパネル（少量多品種）
  • 有機太陽電池
  • 有機半導体

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弊社はご要望に合わせた真空装置のカスタマイズ対応が可能ですのでお問い合わせ下さい。

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