真空関連:熱処理関連装置高真空アニール炉薄膜太陽電池の成膜工程を一貫処理

- 概要
- 用途
基本情報
高真空下で高精度の熱処理が可能
特長
クリーンな排気系
温度の安定性や温度分布に優れる
バッチ式の他、搬送と組み合わせた自動ラインまでラインアップ
用途
- 水晶デバイス
- 各種電子デバイス
- その他
高真空下で高精度の熱処理が可能
クリーンな排気系
温度の安定性や温度分布に優れる
バッチ式の他、搬送と組み合わせた自動ラインまでラインアップ