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高真空アニール炉 ANシリーズ
高真空下で高精度の熱処理が可能なアニール装置

  • 特長
  • 仕様
  • 用途

特長

  • クリーンな排気系
  • 温度の安定性や温度分布に優れる
  • バッチ式のほか、装置や搬送と組み合わせた自動化ラインの対応可

仕様例 ANM-402

排気性能
到達圧力/5E-5Pa以下
加熱
MAX400℃
常用350℃　±5％以内（ヒータ面上）

用途

  • 電子部品
  • 水晶デバイス
  • その他

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弊社はご要望に合わせた真空装置のカスタマイズ対応が可能ですのでお問い合わせ下さい。

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