真空関連：熱処理関連装置

高真空アニール炉

薄膜太陽電池の成膜工程を一貫処理

基本情報

高真空下で高精度の熱処理が可能

特長

クリーンな排気系
温度の安定性や温度分布に優れる
バッチ式の他、搬送と組み合わせた自動ラインまでラインアップ

用途