開く

真空関連:熱処理関連装置
高真空アニール炉
薄膜太陽電池の成膜工程を一貫処理

  • 概要
  • 用途

基本情報

高真空下で高精度の熱処理が可能

特長

クリーンな排気系
温度の安定性や温度分布に優れる
バッチ式の他、搬送と組み合わせた自動ラインまでラインアップ

用途

水晶デバイス
各種電子デバイス
その他