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スパッタリング装置 SPSシリーズ
カルーセル方式を採用した省スペース・高効率なスパッタリング装置

  • 特長
  • 仕様
  • 用途

特長

  • カルーセル高速回転で良好な膜厚分布
  • 容易な基板脱着・ターゲット交換
  • 2種類の積層成膜が可能
  • 自動反転機構でバッチ内基板両面成膜可能
  • 低コストと高生産性で省スペース

仕様例 SPS-402

装置構成
処理室 バッチ式
対応基板サイズ
W60×H120（ホルダー）
MAX16枚/バッチ
カソード
DC角型プレーナ型 2台 DC4Kw
操作
全自動（排気・加熱・成膜）

用途

  • 電子部品
  • 水晶デバイス
  • チップ抵抗
  • LED
  • その他

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弊社はご要望に合わせた真空装置のカスタマイズ対応が可能ですのでお問い合わせ下さい。

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