装置メンテナンス・保守部品販売

お客様の装置を長期間安定的にご使用頂くために、装置の点検からパーツ・ユニット交換、ポンプやユニットなど予防メンテナンスを提案いたします。
これにより装置の故障を未然に防ぎ性能を維持して、安定稼働に貢献します。

• 装置点検
• 装置オーバーホール（駆動系ベアリング類、シリンダー交換など）
• 排気系オーバーホール（ポンプ、バルブ類）
• 真空内部オーバーホール（除膜作業、清掃）
• 部品洗浄
• 装置移設
• メンテナンスパーツの販売