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第6世代ハーフ基板サイズに対応した量産製造装置
小中規模生産向け製造装置
材料開発、プロセス開発の評価用製造装置
光学部品製造等に対応した蒸着成膜装置
電子備品や研究開発に対応した蒸着成膜装置
カルーセル方式を採用した省スペース・高効率なスパッタリング装置
縦型のスパッタ方式で中小型基板に対応した量産型スパッタリング装置
水平型インライン方式で大型基板に対応した量産型スパッタリング装置
研究開発から小規模生産用に適した高性能スパッタリング装置
高真空下で高精度の熱処理が可能なアニール装置
