製品・サービス
開く

有機ELディスプレイ量産装置 System-ELVESS
第6世代ハーフ基板サイズに対応した量産製造装置

  • 特長
  • 仕様
  • 用途

特長

  • 大量生産向け装置
  • 有機材料と陰極金属材料の蒸着成膜技術や、精密ロボット技術による全自動の搬送技術、高精細画素に欠かせない高精度のアライメント技術など、当社創業以来の技術を融合し世界トップシェアを握る全自動量産システム
  • オプション：インライン方式、ウェハー基板対応

仕様例

ガラス基板
第6世代ハーフ基板サイズ
TFTパターニングガラス基板
排気
10－5Pa台
成膜
有機材料：ヒーター加熱ポイントソース蒸発源 膜分布±5％
金属材料：ヒーター加熱ポイントソース蒸発源 膜分布±7％
制御
搬送、排気、成膜、封止の諸条件は、コンピュータとシーケンサの設定で自動運転
マスクアライメント
ガラス基板とメタルマスクの位置合わせは、±3μｍにアライメント

用途

  • 有機ELディスプレイパネル（スマートフォン、OLEDTV、車載、VR）
  • 有機太陽電池
キヤノントッキの差別化技術
有機ELディスプレイ製造装置紹介動画
（YouTube）

お問い合わせ

弊社はご要望に合わせた真空装置のカスタマイズ対応が可能ですのでお問い合わせ下さい。

製品のお問い合わせ