真空関連：スパッタリング装置カルーセル式小型スパッタリング装置 SPS-402省スペースで効率のよい生産が可能
基本情報
装置名：SPS-402
特長
カルーセル高速回転で良好な膜厚分布
容易なキャリア着脱・ターゲット交換
2種類の積層膜成膜が可能
自動反転機構でバッチ内基板両面成膜可能
用途
- 水晶デバイス
- チップ抵抗
- 電子部品
- その他
真空関連：スパッタリング装置縦型リターンバック式スパッタリング装置 SPL-Vシリーズ小型基板から中型ガラス基板に対応
基本情報
装置名：SPL-Vシリーズ
特長
自由度の高い装置設計
完全自動化対応
長期安定稼動
様々な形状の基板に対応
用途
- 磁気記録メディア
- 電子部品
- 水晶ベースコート
- 次世代太陽電池製造装置
- その他
真空関連：スパッタリング装置水平型インライン式スパッタリング装置 SPL-Hシリーズ高精度膜厚分布、高レートを実現
基本情報
装置名：真空蒸着装置 CM・CMEシリーズ
特長
水平型インライン式スパッタリング装置
デポアップ、デポダウン方式に最適な装置設計
完全自動化対応
長期安定稼動
独自カソードシステムによる高精度膜厚分布、高レート
SAW / FBAR
用途
- 薄膜太陽電池
- 建材ガラス
- その他