真空関連：真空蒸着装置光学部品向け CMシリーズ光学部品に利用可能
基本情報
装置名：CMシリーズ
特長
光学部品向け光学多層膜真空蒸着装置です。円筒型前扉式で、操作性に優れ、高品質、高信頼の薄膜が得られます。チャンバーサイズはΦ400～1800mmまでシリーズ化されており、用途に合わせた装置構成が可能です。
用途
- 反射防止膜（ARコート）
- 表面反射膜
- 誘電子フィルター等
真空関連：真空蒸着装置水晶デバイス等電子部品向け CMEシリーズ電子部品に利用可能
基本情報
装置名：CMEシリーズ
特長
水晶デバイス、薄膜センサや、電子部品、新素材開発などの分野に使用される真空蒸着装置です。基板の回転や反転動作、抵抗加熱蒸着源や電子銃蒸発源など、用途に応じて多彩なオプションを用意しています。
用途
- 水晶デバイス
- 電子部品
- 薄膜センサー
- その他