大型ガラス基板に対し電極成膜、光吸収層等の成膜工程をインライン連続処理します。独自のキャリア搬送方式の採用により、安定した量産稼働が可能です。その他にもクラスタ型量産装置や研究開発用装置など、多彩なラインナップをご用意しています。
有機ELディスプレイ製造装置の開発・製造で培った真空ロボットによる基板搬送技術や真空成膜技術を応用した太陽電池製造装置です。セルの開発からパイロット生産まで、様々なニーズに対応しています。
