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真空関連:スパッタリング装置
カルーセル式小型スパッタリング装置 SPS-402
省スペースで効率のよい生産が可能

基本情報

装置名:SPS-402

特長

カルーセル高速回転で良好な膜厚分布
容易なキャリア着脱・ターゲット交換
2種類の積層膜成膜が可能
自動反転機構でバッチ内基板両面成膜可能

用途

水晶デバイス
チップ抵抗
電子部品
その他

真空関連:スパッタリング装置
縦型リターンバック式スパッタリング装置 SPL-Vシリーズ
小型基板から中型ガラス基板に対応

基本情報

装置名:SPL-Vシリーズ

特長

自由度の高い装置設計
完全自動化対応
長期安定稼動
様々な形状の基板に対応

用途

磁気記録メディア
電子部品
水晶ベースコート
次世代太陽電池製造装置
その他

真空関連:スパッタリング装置
水平型インライン式スパッタリング装置 SPL-Hシリーズ
高精度膜厚分布、高レートを実現

基本情報

装置名:真空蒸着装置 CM・CMEシリーズ

特長

水平型インライン式スパッタリング装置
デポアップ、デポダウン方式に最適な装置設計
完全自動化対応
長期安定稼動
独自カソードシステムによる高精度膜厚分布、高レート
SAW / FBAR

用途

薄膜太陽電池
建材ガラス
その他