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有機EL:量産用装置
有機ELディスプレイ量産装置 System-ELVESS
第6世代ハーフ基板サイズに対応した量産製造装置

  • 概要
  • 仕様

基本情報

装置名:System-ELVESS

特長

大量生産向けに開発された装置です。有機材料と陰極金属材料の蒸着成膜技術や、精密ロボット技術による全自動封止技術、フルカラーの画素製作に欠かせない高精度アライメント技術など、当社創業以来の技術を融合し、世界トップシェアを握る全自動量産システムです。

仕様例

ガラス基板
第6世代ハーフ基板サイズ
TFTパターニングガラス基板
排気
10-5Pa台
成膜
有機材料:ヒーター加熱ポイントソース蒸発源 膜分布±5%
金属材料:ヒーター加熱ポイントソース蒸発源 膜分布±7%
制御
搬送、排気、成膜、封止の諸条件は、コンピュータとシーケンサの設定で自動運転
マスクアライメント
ガラス基板とメタルマスクの位置合わせは、±3μmにアライメント